TECHNOLOGIE, DIE REINHEIT DEFINIERT. LEISTUNG, DIE DEN ERTRAG STEIGERT.

Die Reinstwassersysteme von Veolia kombinieren modernste Aufbereitungstechnologien mit präziser digitaler Steuerung, um für die fortschrittliche Halbleiterfertigung konstant erstklassige Qualität, Zuverlässigkeit und Anlagenverfügbarkeit zu gewährleisten.

DURCHDACHTE INNOVATION FÜR KONSISTENTE, MESSBARE ERGEBNISSE.

Für Halbleiterfertigungen kann die Wasserqualität darüber entscheiden, ob eine Produktion erfolgreich ist oder zu Prozessverlusten führt. Veolia setzt fortschrittliche Membran-, Nachreinigungs- und Überwachungstechnologien ein, um Reinstwasser zu liefern, das selbst die weltweit strengsten Spezifikationen der Halbleiterindustrie erfüllt und dauerhaft einhält. Von der Planung bis zum Betrieb wird jede Technologie im Hinblick auf Stabilität, Ausbeute und Reproduzierbarkeit ausgewählt und optimiert – so stellen wir sicher, dass Sie höchste Standards bei Reinheit und Zuverlässigkeit erreichen.

KERNTECHNOLOGIEN

3-Nov-07-2025-11-59-45-4559-AM

ME-5 Pico E-Cell™ Elektrodeionisation (EDI)

Die nächste Generation der EDI-Technologie: Sie ermöglicht eine schnellere Inbetriebnahme, eine überlegene Ionenleistung und reduzierte Betriebskosten.

2-Nov-07-2025-11-59-45-4791-AM

Zweistufige Umkehrosmose (RO) + EDI-Nachaufbereitung

Erreicht einen spezifischen Widerstand von >18,18 MΩ·cm ohne primären Mischbett-Ionenaustausch.

1-Nov-07-2025-11-59-45-4076-AM

Umkehrosmose (RO) für hohen pH-Wert

Maximiert die Rückgewinnung und minimiert die Kesselsteinbildung, während gleichzeitig der Chemikalienverbrauch und der Abfall reduziert werden.

MESSBARE LEISTUNG

Maßstäbe für die Wasserqualität in der Halbleiterfertigung setzen

Jedes UPW-System von Veolia ist darauf ausgelegt, branchenführende Leistungskennzahlen zu erreichen und dauerhaft zu gewährleisten. Unsere Systeme werden gemäß den strengsten Spezifikationen der Halbleiterindustrie validiert und liefern konsistente Ergebnisse bei jedem Produktionsschritt.

Typische Leistungsziele für Reinstwasser (UPW):

PARAMETER TYPISCHE VEOLIA LEISTUNG
     Spezifischer elektrischer Widerstand      > 18,18 MΩ·cm
     TOC      < 500 ppt
     Kieselsäure (Gesamt-/reaktiv)
      < 50 ppt
     Kritische Metalle      < 0,2 ppt
     Bor      < 5 ppt
     Gelöster Sauerstoff
      < 5 ppb
     Partikelanzahl      < 100/L bei 0,05 μm
     Bakterien

     < 0,1 KBE/100 mL

(Alle Werte abhängig von der Systemauslegung und den standortspezifischen Gegebenheiten.)

TECHNOLOGIE IM FOKUS: DIE ME-5 PICO E-CELL™

E-CELL

Neudefinition der EDI-Leistung für die nächste Generation von Fertigungsanlagen

Die im Rahmen der kontinuierlichen Innovationsprogramme von Veolia entwickelte ME-5 Pico E-Cell™ (EDI-System für die zweite Stufe) liefert Reinstwasserqualität, die über die von herkömmlichen Ionenaustauschern oder einstufigen EDI-Systemen hinausgeht – bei schnellerer Inbetriebnahme, höherer Stabilität und geringeren Betriebskosten.

 WICHTIGE VORTEILE 

        • - Liefert Wasser in Produktionsqualität 3 bis 4 Wochen schneller als herkömmliche Ionenaustauscher
    • - Macht chemische Regeneration, Harzhandling und Spülwasserentsorgung überflüssig
    • - Erhöht die Betriebsstabilität und minimiert Schwankungen in Polishing-Kreisläufen
    • - Senkt die Investitionskosten (CapEx) durch geringeren Platzbedarf und vereinfachtes Design
    • - Reduziert die Betriebskosten (OpEx) durch geringeren Verbrauch an Hilfsstoffen sowie reduziertem Logistik- und Personalaufwand   

 DIGITALE STEUERUNG & ECHTZEIT-ÜBERWACHUNG 

Intelligente Systeme für kontinuierliche Compliance

Die UPW-Systeme von Veolia sind umfassend instrumentiert, um jeden kritischen Parameter kontinuierlich zu überwachen – dies gewährleistet eine stabile, vorhersehbare Qualität sowie die frühzeitige Erkennung von Prozessabweichungen.

•  Integrierte Sensoren für spezifischen Widerstand, TOC, Kieselsäure und Partikel
•  Echtzeit-Analyse-Dashboards für Bediener und Ingenieure
•  Warnmeldungen zur vorausschauenden Wartung (Predictive Maintenance) auf Basis von Trendanalysen
•  Sicherer Fernzugriff für Veolia-Experten zur Unterstützung bei Fehlersuche und Optimierung
•  Volle Kompatibilität mit SCADA-/DCS-Systemen auf Werksebene

 BEWÄHRT IN DEN WELTWEIT FÜHRENDEN FERTIGUNGEN 

Vom Konzept bis zur Produktion | Bewährt im großen Maßstab 

Die Technologien von Veolia kommen weltweit in mehr als 550 UPW-Anlagen zum Einsatz und produzieren über 15 Milliarden m3 Reinstwasser für führende Halbleiterhersteller. Unsere Systeme unterstützen Fertigungsstätten in 23 Ländern und gewährleisten eine gleichbleibende Leistung sowie hohe Verfügbarkeit – von der Inbetriebnahme bis hin zur Großserienfertigung.

Halbleiterfertigung der Spitzenklasse (Tier 1), Singapur (2019):
•  > 97% Rückgewinnungsrate
• Keine Mischbettsäulen
• Bor < 10 ppt; Kieselsäure < 50 ppt; Metalle < 2 ppt

💬 LASSEN SIE UNS ÜBER DIE LEISTUNG IHRER FERTIGUNG SPRECHEN

Setzen Sie sich mit den UPW-Technologieteam von Veolia in Verbindung, um System-Upgrades, die EDI-Integration, neue Projekte zur Fertigungsplanung und mehr zu besprechen.